探針（probe）用於測試晶圓之電性分析，而此測試係為接觸式測試，故會於晶圓上留下痕跡，稱為探針痕（probe mark）。

AMD WLI 具備白光干涉量測功能，可針對探針痕建立奈米級高度之 3D 量測立體圖，大幅降接觸式探針的量測誤差，同時搭載電動平台，操作上更為便利。

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