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其組成架構以量測高度或深度的光學測頭為核心,搭配平移載台、訊號擷取控制、操作軟體 SolarScan 與分析軟體 SolarMap,可以將量測資料做 3D 重建,並於重建模型上做量測與分析。
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可應用於表面輪廓量測、粗糙度量測(可套用規範如 ISO 25178、JIS B 0671 等)、膜厚量測、微結構量測、孔徑與深度量測、共面度量測等。可根據需求做全機的客製化,從選用光學量測頭,客製化的載台大小,軟體功能及全自動量測站的規劃。
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其中雷射掃描、三角雷射、共軛焦等不同的光學量測頭,分別對應不同尺寸的精度要求與量測速度要求,例如需要在產線上全檢產品特定 5x10mm 的區域,則推薦不同解析度的線掃描頭,可在數秒到數十秒不等的時間,完成微米級至奈米級的輪廓掃描;若需要深度方向的精度以奈米為單位,則共軛焦面感測頭是較佳的選擇。
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檢測實例
▪ Probe card inspection
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▪ Microlens
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▪ TSV, TGV, RDL
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▪ Wire bond
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