在 VMZ-K 上檢視的 probe card 即時影像經過 VMZ-K confocal 掃描後的 3D 圖,內含視野內有所有探針(X、Y、Z)座標資訊,因此可取得所有探針的位置和高度,掃描整片探針卡後,即可得到共平面度。