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探針卡(probe card)的快速檢測利器 - Nikon Confocal NEXIV VMZ-K
應用範圍
探針卡需要檢測:每根探針的位置(X,Y)及所有探針的共平面度。
優點
探針卡(probe card)的快速檢測利器 - Nikon Confocal NEXIV VMZ-K
探針卡(probe card)的快速檢測利器 - Nikon Confocal NEXIV VMZ-K
在 VMZ-K 上檢視的 probe card 即時影像
探針卡(probe card)的快速檢測利器 - Nikon Confocal NEXIV VMZ-K
經過 VMZ-K confocal 掃描後的 3D 圖,內含視野內有所有探針(X、Y、Z)座標資訊,因此可取得所有探針的位置和高度,掃描整片探針卡後,即可得到共平面度。
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